就被有序放入各种溶液凹槽中浸泡,在达到设定时间之后,又从这个凹槽被换到另一个凹槽。
在这些溶液转换之间,晶圆表面正与这些特殊的溶液发生反应,一些肉眼不可视的变化正在按照设计的预期缓缓发生……
与硅基生产工艺侧重物理工艺不同,目前碳基芯片的生产工艺更侧重生化层面,面前这两台机器就是明证。
这两台机器里面最为重要的是它们加注的特殊溶液,只有这些溶液与晶圆表面发生反应才可以加工出合格的晶圆,机器本身反而不重要,只要保持稳定运行就好。
在实验区外等候的众人心里都像吊着一块大石头,这还是他们第一次把各个步骤整合起来进行实验,也是第一次机器实验。
之前的实验他们都是依靠人工进行的,如果这次两台机器的运行成功的话,那么可以碳基芯片产业化的第一阶段也算是成功了,日后这两个工艺步骤只要改装这两台机器就好。
只不过两分钟的功夫,送进去的晶圆泡完了所有的溶液,在众人期待的眼光下被送了出来。
“快,看看碳管的组装情况,另外把印刷机送出来的晶圆放到离子刻蚀机里面。”刘院士连忙指挥起来。
现场的人们顿时忙碌起来,众星捧月般护送着两块晶圆,其中一块送到旁边进行人工检测,另一块则送入刻蚀机进行再次加工。
检测就在现场举行,检测人员在工作台上一番操作之后突然转身,紧接着激动的声音就传了过来:“碳纳米管的组装没有问题,与设计预期完全相符!”
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